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        半導體測試設備

        簡介:

        開爾文探針

        產品詳情

        產地:英國

        型號:SKP5050, KP020, UHVKP020;

         

        開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。材料表面的功函數通常由最上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是一種最靈敏的表面分析技術。

         

        技術規格:

        SKP5050系統是一款可以被大多數客戶所接收的高端掃描開爾文探針系統,它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置,其規格如下:

        探針直徑:2毫米,50微米(其他尺寸可選配);

        功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);

        針尖到樣品表面工作距離:~400納米;

        表面勢和樣品形貌3維地圖;

        探針掃描或樣品掃描選配;

        彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置;

        參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌);

        備用的針尖放大器;

         

        儀器特點:

        全球第一臺商用的完全意義上的開爾文探針系統;

        最高分辨率的功函數和表面勢,最好的穩定性和數據重現性;

        非零專利技術(Off-Null)  信號探測系統在高信號水平下工作,與基于零信號原理(Null-based, LIA)的系統相比,不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度;

        高度調節專利技術 — 我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受樣品形貌的影響,針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移;

        該領域內,擁有最好的信噪比;

        快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間,遠快于其他公司產品;

        功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器,與通常的壓電驅動器相比,VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作;

        所有開爾文探針參數的全數字控制;

         

        參考用戶:

        吉林大學,大連理工大學,哈工大,復旦大學,浙江大學,合肥工大,華中科大,湖南大學,華南理工大學,香港科技大學,中科院理化所,中科院納米中心,中國工程物理研究院等…

         

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